Die Prüfungen der Dichtheit von Objekten können unter Anwendung von unterschiedlichen technischen Verfahren durchgeführt werden.  Die Auswahl des Verfahrens hängt von der erwarteten Messgenauigkeit oder von der Größe der Leckage ab. Die genauesten Ergebnisse bei der Leckprüfung liefert das Vakuumverfahren mit dem Massendetektor.  Die Prüfung wird am Objekt durchgeführt, das mit Helium gefüllt ist. Entweder wird dabei der Luftdruck oder ein Druck bis 250 bar und mehr vorgegeben. Das Objekt befindet sich im Vakuumkammer, die mit dem Massendetektor verbunden ist. Die Prüfung lässt Ausflüsse von 10-12 mbar*l/s ermitteln. Durch den Einsatz eines zusätzlichen Sensors (Sniffer) ist es möglich, Leckstellen /-bereiche von-7 mbar*l/s zu finden.